 |
 |
 |
コーターデベロッパーシステム
フォトレジスト処理及び現像工程に用いるローコストコーターデベロッパーシステム
豊富なシステムバリエーションでユーザーに対応する
- ＣＤＳ−８６０Ｒ＋
多様化されるプロセスニーズに対応
８インチウエハ対応のメカニカル搬送装置
- ＣＤＳ−６３０Ｒ＋
２インチから６インチウエハまで対応のメカニカル搬送装置
- ＣＤＳ−６３０＋
ベルトによる安定したウエハ搬送
２インチから６インチウエハそして特殊ウエハまで対応
|
|
エピタキシャルスパイククラッシャー
エピタキシャル成長期に生ずるエピスパイク対策に効果
ウエハ表面の高さの均一化
- ＥＳＣ−６３０
３インチから６インチウエハまで対応
|
ＰＥＢ装置 (post-exposure bake)
露光装置とのインラインによる現像前ベーキング装置 |
※お客様の仕様に合わせた特注製品の設計製造も行います
|
